【適用事例】半導体製造装置　金属セラミックス複合材料『MMC』

PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。

MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 ＜冷却ジャケットへの適用＞ アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 ＜ウエハチャックへの適用＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

高融点金属【熱処理事例】モリブデンールテニウム　ろう材開発

医療用X線、非破壊検査用装置、質量分析装置などで活躍中

■モリブデン‐ルテニウムろう材開発 このろう材は融点が高いため、高融点金属同士の接合（ろう付け）に使用されますが、市販されていないため、独自に材料を調達する必要がありました。 作製したろう材を用い、タングステン同士のろう付けを試みました。 ※写真左側は多孔質タングステンです 写真1：CCDカメラによって観察。接合部に大きな隙間が生じてしまった失敗例です。実際のところ、なかなかうまく出来...

メーカー・取り扱い企業： 岳石電気株式会社