半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…

昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。 PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、 その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。 【特長】 ■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応 ■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社