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水銀プローバ CV/IV測定システム
アメリカFour Dimensions社の再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。Si、化合物、SOI、バルクといった様々なウェハの特性を測定できます。 【特長】 ◆電極作製が不要。水銀自体が電極となるため、コスト/時間の掛かる パターン形成工程が不要。バルク、又は絶縁膜を形成した状態で測定 可能 ◆オートマチックシステム。最大49箇所...
メーカー・取り扱い企業: 雄山株式会社 東京支店
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