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MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料…
容器寸法:φ150×200H、排気系:2インチ拡散ポンプ(LN2付)+ロータリポンプ20L/min。メインバルブには2インチサイズを採用しポンプの排気能力を有効に引き出します 。真空容器の金属部、メインバルブ、3方バルブ、リークバルブはステンレス材を採用しています。...電源は別置きとなっています。排気系はターボ分子ポンプに変えることも可能です。カスタムオーダーにも対応可能です。多元蒸着装置・大...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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