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PR研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力を発揮
〇特殊シールとエアパージにより本体内への切粉、研磨粉などの粒子の侵入をシャットアウト 〇エア消費量の小さいパージ構造 (0.3L/min) 〇発熱の小さいシール構造 〇長寿命シール 〇シール部の清掃交換が容易な構造 〇コンパクトな胴厚 〇特許出願済...★炭化ケイ素とアルミナを混濁させたスラリー内で100万サイクル*の耐久試験をクリア * 1サイクルは 正転180°→ 正転180...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社北川鉄工所
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PRラットホール・ブリッジなど粉体の詰まりを解消し、スムーズな排出を促すア…
【粉を液体のように動かしてスムーズに排出 工数や原料ロスの削減に】 エアーを接続して使用します。 ホッパー内部にエアーが流れ込み、粉体を流動化させることで排出を促します。 【クロスコンタミネーションを防ぐ洗浄性にすぐれた構造】 内槽ホッパーには微細な穴が開いており、そこからエアーを取り込みます。 穴の内部はストレートに近い構造で、粗さの異なるメッシュを複数重ねた場合に比べ、粉が入り込...
メーカー・取り扱い企業: MONOVATE(旧:日東金属工業)株式会社 八潮工場
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0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー
最小基板サイズ:5 mm x 5 mm 最大露光面積:6インチx 6インチ(オプションで8インチx 8インチ) 0.6μmまでの最小構造サイズ リアルタイムオートフォーカス(標準:空圧式、オプション:光学式) 前面と背面の位置合わせ(オプション:バックサイドアライメント機構) 高アスペクト比モード(超厚レジスト露光) 使いや...
メーカー・取り扱い企業: ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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マスクレスアライナー『uMLA』(マイクロ・エム・エル・エー)
テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー
テーブルトップシステムのマスクレスアライナー µMLAは、最先端のマスクレステクノロジーを特徴としており、微細構造を必要とする全ての研究開発領域に適したエントリーレベルの描画装置です。典型的な用途は、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサー、MEMS、および材料科学です。 µMLA(マイクロ・エム...
メーカー・取り扱い企業: ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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