光干渉式膜厚測定装置『Model3100』

多数の納入実績を誇る業界標準機！リニアアレー受光素子を採用

『Model3100』は、受光素子にリニアアレー素子を採用し、 高速測定を実現した光干渉式膜厚測定装置です。 スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の 同時測定および光学定数(n,k)の測定が可能。 各種膜特性に適合したきめ細かなパラメータの設定ができ、より豊富な 各種膜構造の膜厚測定ができます。 【特長】 ■高感度高分解能ヘッド(オプション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アークステーション