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ローノイズでコンパクト!裏面入射型ペルチェ冷却FFT-CCD使用
分光器とは、光を虹(波長ごとの光)に分けて波長ごとの光の強さを測定するものです。薄膜などに光をあて、その反射光を分光することによって薄膜成分を計測します。応用例としては、各種ディスク上の膜厚の厚み管理、半導体用ウェハ上のレジスト膜・SiO、光学レンズのコーティング膜厚管理、各種フィルムの膜厚測定、ガラス基板上の配向膜・ITO膜のインライン計測、LEDの色計測などがあります。インライン用多チャンネル...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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