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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高…
約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。 レーザ走査イメージャの特徴 ・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない) ・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス ・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ
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