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スパッタリング装置に搭載する高品質な円筒ターゲット、平面ターゲット並び…
以下製法で円筒ターゲットを作製します。 1.製法:溶解材押出し一体もの 代表的材料:Ti、Al、Cu 利点:割れるリスクがない、低速回転可能 欠点:高純度品が無い 2.製法:プラズマスプレイ 代表的材料:Si、Ag、ZnAl等 利点:割れるリスクが比較的少ない、安価、 欠点:5N以上の高純度品が難しい、すができやすい、初期立上げに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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