汚泥・廃液・食品残渣を1台で乾燥　オカドラ・サイクロンドライヤー

PRSDGsへ適用できる乾燥機～動画で確認可能～抜群の熱効率と高品質乾燥、…

オカドラ・サイクロンドライヤーは、特許技術により固形物だけでなく、液体、食品残渣も高効率・高品質乾燥を実現した縦型乾燥機です。 【オカドラSDの特長】 ・固形、液体、食品残渣を問わず乾燥できる ・縦型（コンパクト）で設置場所を選ばない ・エネルギーロスが非常に少ない ・必要な含水率で取り出せる ・超低含⽔率（10〜0.1％）まで均⼀に乾燥できる ・乾燥品は高品質（変質なムラがない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オカドラ

設計・製造時の問題を自動で検出！製品品質を守る【異音検査装置】

PR人では気付かない問題も検出！どんな問題が多いかの可視化が可能なため歩留…

『StaVaTester IW』は、統計とパターン認識技術を使用する異音検査装置です。 加振された部品の振動のスペクトル、または稼働中の機械から生じる音や 振動のスペクトルを統計解析して、製品の良否検査を自動的に行います。 スペクトルの標準化変量を基にする新しい類似度計算方法により、 大量の特徴量を直接比較することが可能。このため、機械の音や振動の 微妙な違いを検出することが可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社竹田技研

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価

TOF-SIMS、D-SIMS：二次イオン質量分析法

半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。 MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-S...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定

ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます

液晶パネルの量産化において、欠陥（異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm～cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。ま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST