浮遊帯域半導体精製装置

シリコンロッドを浮遊帯域精製、単結晶化及び無転位単結晶化する装置です。

波誘導加熱電源、浮遊帯域精製炉、除震台、総合制御盤、操作盤で装置を構成 ○高周波誘導加熱電源の安全回路は（1）過電流(１次側)（2）Ｉｐ過電流（3）Ｉｇ過電流（4）パネルスイッチ （5）冷却水断（水圧／水量） ○浮遊帯域精製炉の真空到達度は１０ －6ｔｏｒｒオーダー ○浮遊帯域精製炉のArフローはＡｒガス流量：1～５（Ｌ／sec） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： アカイ電子工業株式会社