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シリコンロッドを浮遊帯域精製、単結晶化及び無転位単結晶化する装置です。
波誘導加熱電源、浮遊帯域精製炉、除震台、総合制御盤、操作盤で装置を構成 ○高周波誘導加熱電源の安全回路は(1)過電流(1次側)(2)Ip過電流(3)Ig過電流(4)パネルスイッチ (5)冷却水断(水圧/水量) ○浮遊帯域精製炉の真空到達度は10 -6torrオーダー ○浮遊帯域精製炉のArフローはArガス流量:1~5(L/sec) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロード...
メーカー・取り扱い企業: アカイ電子工業株式会社
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