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UV(紫外線)硬化装置|高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…
独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm/12”対応。 サイズ: 650(W)×800(D)×980(H)。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社
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