自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

ノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光ユニット：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：（例）1650×1350×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 30...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）Maskaligner

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…

サイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4" ■カセットステージ：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ