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シンプル構造で低価格を実現!GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…
【仕様】 ■型式:PEC-6 ■エッチング方式 ・Photo-Electro Chemical:光電気化学 ■適応ワーク:□10mm小片チップ、φ2~6インチ ■UVA光源:超高圧水銀灯315~400nm 15mW/sm2以上 ■UVC光源:プラズマ光源220~320nm 12mW/sm2以上 ■薬液供給:2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液 ■外形寸法:1470(H...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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