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多様なウエハ、さまざまな工程に対応する輸送容器を豊富にラインアップして…
当製品は、進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に 移送する容器です。 50-300mmまでのウエハサイズ、ガラス、化合物などの多様な材質や、近年 増加している薄物ウエハにも対応する豊富なラインアップを有しています。 有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強い、 信頼性の高いウエハ輸送容器を提供してまいります。 【構造の特長...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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