組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』

PR製版作業の半自動化で生産性アップ、生産コスト削減。専用接着シールは低環…

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』は、 製版作業時に接着剤を手作業で塗る工程を半自動化でき、 生産性の向上、省力化・省人化に貢献する製品です。 専用接着シールにより、洗浄耐久性の向上につながるほか、 揮発性物質を使用しておらず、作業環境の改善に貢献。 メタルマスクの生産にかかるコストを削減することができます。 【仕様】 設備サイズ：2500×900×19...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MkFFJapan

丸型ポーラスチャック

丸型ポーラスチャック

全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉岡精工