新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所