ウェハ外観検査装置『ED-Scope』

ウェハ検査の常識を変える！誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価すること…

陥を可視化し、欠陥検査時間を 大幅に短縮するウェハ外観検査装置です。 オプティテック社独自の光学系技術と画像処理技術をコラボさせることにより、 これまで検査しても発見が難しかった欠陥を液晶モニター上に浮き上がらせます。 また、深さ(Z方向)はナノレベル、視野範囲(XY方向)はマクロ観察が可能となり、 短時間で欠陥を検出することが可能になりました。 【特長】 ■目視確認でき...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社