小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

質量 350 kg ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V 10 50/60Hz 3.0 kVA エアー源 0.4 MPa 以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型 TFT カラー液晶モニター、非常停止、 USB ポート 1 ヶ RF 電源 最大 1kW : 13.56MHz 総合通信局への申請が必要です ガス源 Ar1 系統標準： 0.1 0.15MPa ※O2 ［追加オプショ...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社