大差圧、大流量もビュルケルトのMFCにお任せください！

ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/m…

た技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減！】 ●大差圧（2.2MPa）に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量（2500lN/min (N2)）に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで（例えば50～2500lN/m...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御でき…

【特長】 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、IoT世代MFCの開発に成功いたしました。 ●小～大流量まで１台で対応できます。 （例えば、例えば2500Nl/min(N2)までを１台でカバー） ●...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対…

【特長】 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、IoT世代MFCの開発に成功いたしました。 ●小～大流量まで１台で対応できます。 （例えば、20～1500 Nl/min(N2)を１台でカバー） ●幅...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社