メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…

ちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.