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ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績…
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程にお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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