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熱でボイドとクラックを可視化! 熱の動きが一目で分かる!
量の変化を検出することで試料内部の異常箇所を検知します(赤外線カメラ方式)。遮熱コーティングの検査、DLCコーティングの検査に威力を発揮し、試料の非破壊検査に最適です。また、同じく変調加熱を与え、熱電対とロックインアンプにより熱の伝播速度を評価することで、試料と試料の同一性を評価することが出来ます(熱電対方式)。特に基板上に成膜した機能性薄膜の良品検査に利用できます。通常の赤外線顕微鏡としてもご...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ベテル ハドソン研究所
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