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PR長寿命!低コスト!特殊形状のブレードが20μm以上のミストを99.9%…
eブレードは、ミスト分離に優れた特性を持つ納入実績の多い装置です。特殊形状のミストエリミネーターブレードを使用しているため、20μm以上のミストを99.9%以上除去、回収する性能を持っています。また、圧力損失も低く、最大風速時でも300Pa以下です。 【特長】 ■風速が8m/secまでとれるため、コンパクト設計。 ■耐蝕FRP及びプラスチック製のため優れた耐蝕性。 ■特別な設計費等の発...
メーカー・取り扱い企業: イーテクノ株式会社 本社
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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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常に一定した濾過性能を維持!超精密機械加工に対応した超高精度クーラント…
『プリコートフィルター』は、超高精度クーラント濾過装置です。 特殊形状の濾材の表面に濾過助剤で緻密な濾過膜を形成させてから、 クーラントの高精度濾過を行います。 また、濾過で汚れた助剤は逆洗工程でエアーにより濾材から剥離させ、 脱水後排出。これらにより常...
メーカー・取り扱い企業: ノリタケ株式会社 エンジニアリング事業部 流体テクノ部
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研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力…
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株式会社三和電機製作所