【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

滴下液体供給装置簡易型ディスペンサー『チビット』

PR水、油、有機洗剤、酸、アルカリ水溶液、メッキ液、スラリー等適用可「重力…

『チビット』は、「滴らす」「飛ばす」「噴霧」の3つの働き、水・油・薬剤・溶剤もOKの液体滴下装置です。 ある程度の精密性と応答性が必要な場合は電磁ポンプタイプを！ 適応粘度は200cp程度まで。 粘度が高い液体とスラリー性質の場合はチューブポンプタイプを！ 適応粘度は1000cp程度まで 【特長】 ○入力時間の短・長にかかわらず一定時間滴下動作を行う ○装置連動・簡易充填...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社笠井製作所

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高温管状電気炉( チューブ炉 )1200℃～1600℃

汎用性・真空・密封雰囲気制御が可能な高温電気炉です。 常用最高 15…

チューブ(炉心管）の設計は標準は横置きとなっております。 材質はムライト、アルミナ（９９．７%)、石英管を選択できます。 縦型スタンドオプションがございます。 ユニバーサルスタンドオプションでは、炉心管を垂直または水平動作するように配置することができます。 オプションの消耗品は、制御雰囲気と真空アプリケーション用の気密エンドフィッティングが含まれています。各種ガス用バルブ、真空計、真空ポン...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

1200℃真空マッフル炉『OSK 93TI101』

管状炉の試料サイズ制限及びマッフル炉の仕切り入れの手間をなくした新たな…

・常用温度1000°C以下の連続運転に適します。 ・無酸素環境の為の完璧な雰囲気制御。 ・長方形チャンバ設計で、管状炉と比較して、幅広い試料サイズに対応。 ・真空の有無にかかわらず、硬化、焼きなまし、焼戻し、ろう付け、焼結をサポートします。 ・真空、真空状態の解除、ガス入力およびガス出力は個別の4ポートで構成されています。 ・複数の大気環境を作り出せます(空気中での燃焼、空気のパージと真...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

1500℃真空マッフル炉『OSK 93TI102』

管状炉の試料サイズ制限及びマッフル炉の仕切り入れの手間をなくした新たな…

・常用温度1350°C以下の連続運転に適します。 ・無酸素環境の為の完璧な雰囲気制御。 ・長方形チャンバー設計で、管状炉と比較して、幅広い試料サイズに対応。 ・真空の有無にかかわらず、硬化、焼きなまし、焼戻し、ろう付け、焼結をサポートします。 ・真空、真空状態の解除、ガス入力およびガス出力は個別の4ポートで構成されています。 ・複数の大気環境を作り出せます(空気中での燃焼、空気のパージと...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

分裂型管状炉(水平・縦型)　1100℃　1500℃

研究開発・実験用　分裂型管状炉 最高温度　1100℃　1500℃ …

＜説明＞ 研究や実験で使用される分裂型管状炉です。 標準は横型、オプションで縦型分裂炉もございます。 異なる作業管の使用/都度交換や、その他の被加熱物へのアクセスが容易です。 　 ＜特長＞ 温度制御器ボックス　別置き型　または　一体型 高品質の断熱材 高い均一性 長寿命の高品質ヒーター（Kanthal-Superthal/Super Globar） ...- 1100℃モデル...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

ホットウォール雰囲気炉　最高温度 1100 ℃

最高 600 ℃ 迄の真空下の熱処理

密閉型レトルト炉には、温度に相応して直接あるいは間接的加熱方式を採用します。 所定の不活性ガスあるいは反応ガス雰囲気が要求される多様な熱処理プロセスに最適です。 最高 600 ℃ 迄の真空下の熱処理にもこのようなコンパクト機種を応用できます。 　 炉室は密閉型レトルトで構成されています。ドア領域は特殊シールを保護する水冷方式を採用しています。水素のような反応ガスの使用にも相応の安全技術を採...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高温管状電気炉( チューブ炉 )1200℃～1600℃

研究開発・実験用　高温管状炉 最高温度1600℃ 標準横型、オプ…

＜説明＞ ■　チューブ(炉心管）の設計は標準は横置き(水平型）です。 ■　オプションにて、縦型スタンド式、縦横兼用のユニバーサルスタンドがございます。 ■　ユニバーサルススタンドでは、垂直または水平に、または傾斜の位置で動作するように配置することができます。 ■　傾斜角度の設定や、安定した温度環境を実現することで 温度環境が安定しているため、様々な熱処理プロセスの再現に適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

◉ 卓上サイズ 省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

超小型アーク溶解炉『ATO-M01』

新素材・新材料の研究開発用！低価格でコンパクト、少量の合金作成に適した…

『ATO-M01』は、チタン（Ti）ジルコニウム（Zr）などの高融点金属の溶解、 少量の合金作製に適した超小型アーク溶解炉です。 視認性の高い覗窓で、鋳型の清掃が容易。真空バルブやピラニ真空計、 油回転真空ポンプなどのオプション品を取り付けることが可能です。 また、当社内の実機による溶解炉の実験サービス（有料）を行っております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

電気炉『高温ガス雰囲気炉』

デジタルプログラムPID制御を採用！下部から試料挿入可能な実験用炉です

『高温ガス雰囲気炉』は、下部から試料挿入可能な実験用炉です。 ヒーター内寸法はφ140mm×300mmHで、重量は200Kg。 デジタルプログラムPID制御を採用しています。 【特長】 ■下部から試料挿入可能な実験用炉 ■ヒーター内寸法はφ140mm×300mmH ■重量は200Kg ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

マッフル炉『OSK75YU IGM12／IGM14／IGM17』

最高温度は1,200℃、1,400℃、1,700℃！30セグメントのP…

『OSK75YU IGM12／IGM14／IGM17』は、30セグメントのPID自動制御により 温度管理を行うガス置換マッフル炉です。 材料の出し入れが便利なボックス構造を採用。また、炉の外部に触れても 安全な空冷ファン付きの二層鉄骨構造となっています。 オプションとして”LCDタッチスクリーンコントロール”や”コンピューター 接続用プログラム ソフトウェア”もご用意しております...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

株式会社タイチク　事業紹介

誘導炉・誘導加熱装置のことなら当社にお任せ下さい

株式会社タイチクは、誘導炉・誘導加熱装置の製造から メンテナンスまでを一貫して行うエキスパートです。 誘導炉製品では、お客様の鋳造内容や各条件に合わせた誘導炉を設計・製造。 小型炉から最大で鋳鉄溶解用40トン炉までの製造が可能です。 また、ビレットヒーター、バーヒータをはじめ 様々な誘導加熱装置を取り揃えております。 【特長】 ■鋳造工場の近代化に貢献 ■効率向上と省力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイチク 本社

真空装置　小型真空アーク溶解炉

真空装置＆真空ポンプのことならお任せください！

アルゴンガス雰囲気中で、金属材料をアーク溶解によって容易に生成。 【特徴】 ○研究・開発に適したコンパクト＆エコノミータイプです。 ○手軽に超高温が得られ、母合金の溶解・精製が可能です。 ○スパッタ用ターゲット材料の自作が容易に実現できます。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

株式会社ナガノ　会社案内

未来の先端技術の発展に貢献！設計から販売まで熱に関わる製品ならお任せく…

当社は長野計器株式会社の旧東京工場が、1978年7月1日に分離独立した 会社であります。 旧東京工場の製品群に加え業務拡大のため長野計器株式会社、上田計測 機器工場より数種類の圧力計関連製品（接点付圧力計・圧力スイッチ・ 微圧計など）の移管を受け生産ライン安定化を確立いたしました。 さらに、熱の計測・制御の分野へも進出し企業基盤の安定化を図ると同時 に計測製品、熱機器製品ともに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナガノ