【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

電対策絶縁処理された端子部、超高温均一加熱が得られる様工夫された抵抗発熱式加熱ブロックを内蔵、ヒータープレート表面を短時間で高温まで加熱昇温することができます。 ◆ヒーター仕様◆ ◎ 使用発熱体 ・NiCr（SH-IN型）, W/BNコンポジット（SH-BN型） ◎ 最高使用温度 ・850℃（SH-IN型）, 1100℃SH-BN型 ◎ 対応基板サイズ ・1〜6inch（*1,...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【円筒状ヒーター】グラファイト, C/Cコンポジットヒーター

超高温 Max1800℃円筒状ヒーター

◎ 使用可能環境：真空中, 不活性ガス中 etc.. ◎ 発熱体：Graphite, CCコンポジットヒーター、など。 ◎ 用途：各種真空装置プロセスチャンバー内での試料加熱、放電プラズマ生成ユニット（Lab6）用、特殊ガス供給系統配管急速加熱（液体急速気化...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

まで昇温します。 ヒーター材質はC/C、SiC3、TIC3の３種類を用意。応用範囲は幅広く、装置側の様々な設置条件に対応、多数の製作実例よりご要求にマッチした製品を供給致します。 ◆◇使用発熱体◇◆ ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティンググラファイト Max1900℃C/...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社