【事例紹介】クリーンブースと集塵機の組合せで、粉体の作業ブース

クリーンブースと集塵機の組合せで、粉体の作業ブース

各工程をクリーンブースで囲い、バグフィルターをセットした集塵機で排気することを提案しました。 気密されたブース内の風量コントロールにFFU直下にトンネル型パンチングを設け、風が直接当たらないように処理する。 FFUは風量可変式とし排気口にはボリュームダンパーを設けてそれぞれ風量調整機構を設けることでバランスを調整する仕様。排気風速を粉体...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』

自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用！自動搬送装置にセッ…

ットを採用しています（超低発塵 機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 　SMIFケース等特殊ケースにも対応可能 ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社

クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』

棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用！パソコン内蔵のため、自社開発のソ…

スはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能 ■パソコン内蔵のため、自社開発のソ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社

クリーンルーム　クリーンベンチ

ファン用にサーマルリレーとサーキットプロテクターを使用し、安全に配慮し…

ロテクターを使用し、安全に配慮しております シャッターレールに樹脂の押出し材を使用し、スライド時の不快音を無くし、動作をスムーズにしました。ガラスは強化加工ガラスです 正確な寿命表示。 　吹出直下に風速センサーを設置し、LEDにて表示します。 プレフィルターの清掃やHEPA交換の時期がわかります。...

メーカー・取り扱い企業： オカベテック株式会社