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50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「5…
「50μm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。 従って圧力線図に示すように超...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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