クリーンルーム内部機器『縦型全自動レチクルストッカー』

自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用！自動搬送装置にセッ…

ットを採用しています（超低発塵 機構、絶対値制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 　SMIFケース等特殊ケースにも対応可能 ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社

クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』

棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用！パソコン内蔵のため、自社開発のソ…

スはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能 ■パソコン内蔵のため、自社開発のソ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社