【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ガラススクライバー【MHS-500S】

PRMHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラスに対応の…

研究・開発向けの半自動ガラススクライバーです。 スクライブパターンの登録が４種類まで可能です。 自動運転の場合、処理が完了すると、ブザー鳴動してお知らせします。 カッターは、切込み量と圧力の２つの調節が行えます。 一連の処理が完了すると自動で真空破壊されるので、段取り替えが容易です。 安全仕様として、安全カバー、インターロック、非常停止、吸着センサーが 標準で装備されています。 .....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

ろ材自動再生型エアフィルタ『オートエアフィルタシリーズ』

粉じんを含んだ外気処理から室内循環まで対応！豊富なラインアップをご紹介

『オートエアフィルタシリーズ』は、平面、または円形ドラムに 取り付けられたろ材でダストを捕集する製品です。 捕集したダストは、真空掃除機により自動的に吸引されるので、 長期間ろ材の洗浄、交換の必要がありません。 平面型に「AF-C」「AF-W」、円形ドラム型に「C-AF」「D-AF」の4種類の オートエアフィルタシリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社忍足研究所

クリーンルーム用製品『クリーン排気ユニット』

軽量コンパクトで発塵部位に直接取付可能！クリーンルームの空調負荷を低減…

循環へ変更することで、 クリーンルームの空調負荷を低減し、コスト削減に繋げます。 【特長】 ■クリーンルームからのCO2排出削減 ■軽量コンパクトで発塵部位に直接取付可能 ■配管不要、真空ブロワー不要 ■低騒音 ■ローコスト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社忍足研究所