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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR高圧式リングブロアーと油式回転真空ポンプの総合カタログ!
高圧式リングブロアーは吸い込む空気は螺旋軌道を描きながら圧縮室を通り、 インぺラの遠心推力により繰り返し加速される為、排気スロットで高圧が得られるようになります。 油式回転真空ポンプは精密ポンプと高い軌道トルクの直結駆動誘導電動機から成っており、 低コストと高性能により、中程度の真空を必要とする食品加工、印刷など様々な分野で使われています。 【主なラインナップ】 ■高圧式リングブロアー ・ケー...
メーカー・取り扱い企業: ユニオン産業株式会社
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『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策 無料進呈中
真空配管設備の不安を解消!プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…
介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたら...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見! 高温…
! ・流路を高温(180℃)、かつ均一に加熱する方法とは? 掲載されている製品・技術: #半導体製造用部材 #空圧 ボールバルブ #手動 ボールバルブ #アイソレーションバルブ #L型真空バルブ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社