【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【デモ機貸出可】把持・滑り止めパッド（IonPad）

高速搬送や高精度搬送を実現する、把持・滑り止めパッドです

わせなどにご利用いただける粘着タイプと、高速搬送の滑り止めなどにご利用いただける非粘着タイプがあります。 【特徴】 ■シリコンウェハやガラスのようなフラットなワークの把持が得意。 ■大気・真空を問わず使用が可能。 ■お手入れが簡単。繰り返しの使用が可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー