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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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FOOMA JAPANに実機出展!世界で選ばれ続ける真空ポンプ
PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)!まずは評価機で…
【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社
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ポリパラキシレン(パリレン)とALD(原子層堆積法)による無機酸化物層…
ように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はありません。また、プロセス・ノウハウもメーカはあるので、レシピに関する情報も提供可能です。 デモ成膜も行っていますので、お気軽にお問い合わせください...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動…
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