【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型サンプル研磨装置『MA-600e RECT』

Φ600mm円形サンプルから大型パネルの研磨まで

大径サンプルの研磨に最適 Φ600mm のステージにサンプルを固定することで大径サンプルの全面を研磨可能です。 サンプルはΦ600mm のSUS プレートに熱ワックス等でサンプルを接着し、プレートを真空チャックすることで固定します。 ●プログラム設定による複雑な研磨が可能 主軸・加圧軸の回転数や加圧力、揺動幅を設定可能です。 ●安全に配慮した研磨作業の実現 非常停止スイッチおよび漏電ブレーカー...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

精密研磨用 試料ホルダー

真空チャック式ホルダーや貼付けホルダーなど、豊富なラインアップをご用意…

ご提案をいたします。 特殊な形状・より高い精度の要求される試料を取り扱う際には、 特注試料ホルダーの作成依頼も承っております。 【ラインアップ】 ＜研磨量調整機構付きホルダー＞ ■真空チャック式ホルダー ■高精度ホルダー ■TEM ホルダー ■厚さ調整ホルダー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

実験用精密スクライバー『SC-100/SC-150』

断面観察用試料が精密かつ容易に作成可能！試料を直接手で触れたり、押さえ…

【構成仕様（一部）】 ■適用試料：半導体ウェハー、サファイア、 SiC、ガラス、セラミックス等 ■試料サイズ：最大φ100mm（SC-150の場合φ150mm） ■試料取付け方法：真空チャック式 ■ステージ移動：X方向＝100mm（MAX）微調整付き（SC-150の場合150mm） ■ステージ回転：θ＝360 °微調整付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社