【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空はんだリフロー装置・酸化膜還元装置『RSS-210-S』

PRギ酸・水素還元両対応！最大200mm×200mmの基板に対応可能な卓上…

ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置です。 業界最小クラスのコンパクトさながら、 大気・窒素・還元雰囲気（ギ酸または水素）、 また真空リフローにも対応。 さらに高速昇温・水冷方式による高速降温を実現しているので 研究開発や試作に適したモデルです。 はんだリフローや金属の酸化膜還元処理の他、ペースト材料の焼結など、様々な アプリケーションにも柔軟に対応します。 【特長】 ■フラック...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

高性能メタルマスク超音波洗浄装置

強力・繊細・高速・メタルマスク超音波洗浄装置 　　　　　　　　　…

エッチングマスク,アディティブマスクの３種類とも　高微細加工、高密度化しております。そのため　従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに　対応できなくなってきました。そこで、当社は、真空前処理型超音波洗浄装置MARSと、液晶APR版洗浄装置の　両者の豊富な経験に　基ずき、大手自動車部品メーカーデンソーの指導のもとに、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、製造販売しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブルー・スターＲ＆Ｄ 本社