【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

低熱膨張材料『LEX-STAR』

宇宙空間対応！幅広い温度帯で低い熱膨張係数を維持する高機能材料

された精度要求に対応して多彩な材料をラインナップ、 広い範囲の熱膨張特性をカバーする新素材として、超精密機器分野はもちろん、 航空機用を中心としたCFRP（炭素繊維強化プラスチック）成形型や 真空ポンプ部品、レーザ機器部品等、幅広い分野で高い評価を得ています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本鋳造株式会社

極低～高温用温度別低熱膨張材『LEXシリーズ』

極低温から高温まで幅広いラインナップ！熱膨張特性をカバーする新素材

された精度要求に対応して多彩な材料をラインナップ、広い範囲の 熱膨張特性をカバーする新素材として、超精密機器分野はもちろん、 航空機用を中心としたCFRP（炭素繊維強化プラスチック）成形型や 真空ポンプ部品、レーザ機器部品等、幅広い分野で高い評価を得ています。 【主な製品】 ■超精密研摩装置用定盤 ■半導体製造装置用CFRP金型 ■レーザ計測器フレーム ■XYステージ ※...

メーカー・取り扱い企業： 日本鋳造株式会社