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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置
PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…
真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...
メーカー・取り扱い企業: 富士ハイテック株式会社
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ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』
触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け!統合されたガス分配システ…
【メリット(抜粋)】 ■短時間で交換後、プロセス再起動できるよう、個別ワイヤーが取り付けられた分割ソース設計 ■真空フランジは蓋またはドアから外さず作業可能 ■ワイヤーは通電の有無を選択できるので、製膜装置の生産稼働時間延長に役立つ ■プラズマ不使用プロセス:イオン衝撃や、磁場で加速された電子がないため、薄膜...
メーカー・取り扱い企業: フォンアルデンヌジャパン株式会社
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大手航空機メーカーでも採用!圧力・真空・油圧スイッチの総合カタ…
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高圧式リングブロアー総合カタログ※HO HSING
高圧式リングブロアーと油式回転真空ポンプの総合カタログ!
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高真空で使用できる ハーメチックコネクタです!
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