真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

減圧乾燥装置「VD-400」

タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です

「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法　400mm x 400mm　高さ103mm（蓋閉時） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

有機EL用封止装置

大型基板への対応と装置コストの低減を目的としています。

常陽工学はLCDセルギャップ形成装置のトップメーカーとして、各種材料とプロセス条件に対応した 多くの特殊装置を製作してきた経験に基づき、新方式の「有機EL用封止装置」を開発しました。 特徴として、この装置は今後の大型基板への対応と装置コストの低減を目的としています。...装置の内容と仕様 ●石英ガラスの代わりとして、UV光透過フィルムを使用した真空2重チャンバーを形成することにより基板に...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社