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真空運搬ロボットを搭載したクラスター型複合プロセス装置
センターチャンバーの周辺にロードロック室を含め、全6室を搭載可能な クラスター型複合プロセス装置 【特徴】 ○センターチャンバーと各室間にゲートバルブを配置しコンタミを防止 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペースを実現 ○メインポンプをチャンバー上部に取り付け高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空運搬ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 ○±3%の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メープル
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マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット
6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空搬送ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メープル
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『真空遮断弁』は真空ダイカスト用の高性能遮断バルブです! 品質向上の…
真空アルミダイカストマシンの金型に取付け、金型内を真空引きする湯路を 溶解金属の注入成形完了と同時に、湯路と真空装置との回路を高速遮断するバルブです。 【当社の油圧式真空遮断弁の特長】 ■高速作動回路内蔵 応答時間:4ms(4/1000秒)、7ms(7/1000秒) ■油圧方式による高速遮断力 油圧を採用した遮断方式 ■溶湯検知センサの採用 溶湯の慣性力や量の影響を受けな...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェイテクトフルードパワーシステム
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あらゆる機械の頭脳、心臓、神経になり働く製品の提案を約束致します。
株式会社サンエスフィッティングは、配管材料、特殊配管材料、空調機器、伝導機器等、産業用製品・部品販売を行っています。 サンエスは、常にお客様の立場に立ちよりよい製品、適格な情報、きめ細やかなサービスを提供することを約束します。 また、お客様の手足や頭の一部分となり、満足してい頂ける様に要望に確実にお応え致します。 さらに、蓄積したノウハウと迅速な行動力で約束を守る為に全力を尽くします。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンエスフィッティング
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