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外部からの真空エア供給に対応し真空切替バルブとして使用可能なユニット!…
小型・軽量の真空ポンプ対応ユニットです。真空ポンプやマルチステージエジェクタなど、外部真空発生器から供給された真空エアを切替える真空切替バルブとして使用できます。 エアの切替や真空破壊機能によるサイクルタイムの短縮が可能になる他、真空回路のコンディションモニタリングが可能なタイプもラインアップしています。 最大16台のSCPM-EVを連装し、1つのブロックとして使用可能なターミナルタイプもライ...
メーカー・取り扱い企業: シュマルツ株式会社
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ウエハ-プロセスの作業効率の向上を実現する真空ピンセットです。
真空ピンセット 導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズは、ピンセット弁内部を鏡面仕上げ加工にすることで、優れた機密性、耐久性を発揮します。 また、ボタン開閉時の発塵を最低限に抑えました。 精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束します。 金属部分の露出を最小限に抑えていますので、安全なハンドリングができます。 【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: 大日商事株式会社
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