真空ガス置換オーブン

Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450…

特許技術のラミナーフロー方式 　YES PBシリーズのチャンバーは上部にガス発生プレナム、下部の吸引プレナムがついており、 　加熱されたガス(通常N2)はウェハに対して平行に流れます。 　平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを 　除去するのに効果的です。 チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 　加熱されたプロセスガスは100um径...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

株式会社システムリンケージ　事業紹介

実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください！

株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、 生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。 研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、 満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、 製作いたします。 また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで 幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムリンケージ