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紫外線積算光量計
○紫外~真空紫外域での絶対値光量管理(mV/cm2)を可能にする紫外線積算光量計です。 ○センサーヘッド部は交換自在で、3波長(172nm・185nm・254nm)各々の光量管理が可能です。 ○DUV光劣化の少ない「フィルタレス方式」採用 フィルタ等を使用せず、特定紫外線を直接検出します...○絶対値光量管理(mW/cm2)が可能です。 ○拡散板なしでcosθに近い、広い入射角度特性 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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