真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」

真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！

ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上 　ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ■パーティクルの舞い上がり防止 　パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行