【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

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メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

真空装置

真空装置

大阪真空社の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ 半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。 【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所