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【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能!自動車のミラーなどの生産…
、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 (真空チャンバー)内に充填されたアルゴン(Ar)などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真空中にアルゴンガスを導入し、ターゲット材料にマイナスの 電圧を...
メーカー・取り扱い企業: デクセリアルズ株式会社
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