1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

耐プラズマ材料　Y2O3(イットリア)

部材の高寿命化､パーティクルの抑制　耐プラズマ材料　Y2O3(イットリ…

【特長】 ○CVD法の特徴ある粒径100nm以下の緻密な酸化イットリウム(イットリア：Y2O3)膜です。 ○耐プラズマ試験：エッチング速度はサファイアの約1／10、　石英ガラスの約1／100 ○成膜形状　リング、プレート、８インチまで対応いたします。 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 時田シーブイディーシステムズ株式会社