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300mmウェハ対応バンプテスター CondorSigmaW12
最大300mm(12インチ)ウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテ…
ハ専用機。X軸500mm、Y軸370mm可動範囲により、300mmウェハの全域で測定可能。最高50mm/secのステージ移動速度で広範囲の測定もストレスフリーに対応。高倍率のオフセットカメラにより破断面の観察、画像記録。パターン認識対応自動測定機能により、測定作業の大幅な省力化、作業者によるばらつきの可能性を排除。誤差±0.075%の高精度センサー(ロードセル)搭載。回転式ヘッドにセンサーを最大...
メーカー・取り扱い企業: テクノアルファ株式会社
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