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外層にバリア性ふっ素ポリマーを使用し、塩酸ラインで酸の透過を抑えます
2 層構造のチューブに仕上がっています。接液部の内層は半導体用PFA を使用し、半導体配管用途での高い基本特性(純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性)を備えています。バリア性ふっ素ポリマーは酸(塩酸・硝酸等)・アンモニアのバリア性に優れ、半導体製造プロセスにおいて特に問題となりやすい塩酸ラインにおいて、従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑え、周辺設備への悪影響を低減します。また長期に渡り流体の...
メーカー・取り扱い企業: 関西理工株式会社
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