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空気でつかむ
LCOS個片基板用非接触ピンセット(特許)は、手動作によるON/OFF操作により気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、トレーに移載します。反転、傾斜させることも可能です。また高性能フィルタを装着していますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。ウエハ、ガラス基板、レンズ、光学フィルム、スルホール基板等の薄い通気性のワークの...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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